A New Experimental Approach to Evaluate Plasma-induced Damage in Microcantilever /Makara seri Teknologi, Direktorat Riset dan Pengabdian Masyarakat Universitas Indonesia : Vol.17 No.2, November 2013 (hal 69-72)

Search by:

All Author Subject ISBN/ISSN Advanced Search

Last search:

Makara seri Teknologi

A New Experimental Approach to Evaluate Plasma-induced Damage in Microcantilever /Makara seri Teknologi, Direktorat Riset dan Pengabdian Masyarakat Universitas Indonesia : Vol.17 No.2, November 2013 (hal 69-72)

Ismail - Personal Name; Supangkat, Suhono H. - Personal Name; Hendrawan - Personal Name; Nishimori, Yuki - Personal Name; Ueki, Shinji - Personal Name; Sugiyama, Masakazu - Personal Name;

Description not available

Ketersediaan

T-ART.06.14.0104 Tersedia

Informasi Detil

Judul Seri: -
No. Panggil: T-ART.2014.BOX.01/T-ART.06.14.0104
Penerbit: Depok : DRPM-UI., 2013
Deskripsi Fisik: -
Bahasa: English
ISBN/ISSN: 1693-6698
Klasifikasi: -
Tipe Isi: -
Tipe Media: -
Tipe Pembawa: -
Edisi: -
Subyek: Spectrum Fee
AIP
BHP-F formula
ITU-R SM 2012-2
spectrum utilization
Neutral Beam Etching
Cantilever
surface loss
Info Detil Spesifik: -
Pernyataan Tanggungjawab: -

A New Experimental Approach to Evaluate Plasma-induced Damage in Microcantilever /Makara seri Teknologi, Direktorat Riset dan Pengabdian Masyarakat Universitas Indonesia : Vol.17 No.2, November 2013 (hal 69-72)

Ketersediaan

Informasi Detil

Versi lain/terkait

Lampiran Berkas

Komentar